[实用新型]一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置有效
| 申请号： | 201320323435.0 | 申请日： | 2013-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN203319904U | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 张雷;吴小飞;石耀洲 | 申请（专利权）人： | 上海志诚化工有限公司 |
| 主分类号： | C07C233/03 | 分类号： | C07C233/03;C07C231/24;C07C317/04;C07C315/06;C07C217/08;C07C213/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200030 上海市化学工*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置，包括物料储罐、恒温水浴槽、真空蒸馏塔、压力表、压缩机、热交换器、电渗析装置、阀门、高纯化试剂储罐并按其顺序相连接，本实用新型优点在于，采用低温真空蒸馏，将化学试剂在低温下蒸发成蒸汽，然后在热交换器的作用下，转成液态化学试剂，并通过电渗析装置，最终使半导体用化学试剂的离子浓度降低到1ppb以下，达到了EMI-C8的要求，本实用新型处理效果高，处理得到的试剂纯度高；整个处理过程的自动化程度非常高，可以连续进行运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 用超纯 电子 化学试剂 纯化 装置 | ||
【主权项】：
一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置，其特征在于，包括物料储罐、恒温水浴槽、真空蒸馏塔、压力表、压缩机、热交换器、电渗析装置、阀门、高纯化试剂储罐并按其顺序相连接。
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