[实用新型]电子枪坩埚的水冷装置有效
| 申请号： | 201320287213.8 | 申请日： | 2013-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN203307424U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 袁永旭 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子枪坩埚的水冷装置，该水冷装置包括：坩埚、坩埚托、出水口和进水孔；其中，所述坩埚设置在坩埚托上，坩埚与坩埚托之间设成环形水道，所述环形水道沿所述坩埚外壁内设置；所述出水口设置在所述坩埚托的中间部位，与所述环形水道的出水口连通；所述进水孔设置在所述坩埚托的边缘处，与所述环形水道连通。该水冷装置通过将环形水道沿坩埚外壁内设置，并使进水孔设置在所述坩埚托的边缘处，使得进水孔远离出水口，从而实现冷却水沿坩埚外壁循环，避免坩埚外壁水冷不充分，易损坏酿成事故的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电子枪 坩埚 水冷 装置 | ||
【主权项】：
一种电子枪坩埚的水冷装置，其特征在于，包括：坩埚、坩埚托、出水口和进水孔；其中，所述坩埚设置在坩埚托上，坩埚与坩埚托之间设成环形水道，所述环形水道沿所述坩埚外壁内设置；所述出水口设置在所述坩埚托的中间部位，与所述环形水道的出水口连通；所述进水孔设置在所述坩埚托的边缘处，与所述环形水道连通。
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