[实用新型]电子枪用坩埚换位装置有效
| 申请号： | 201320287190.0 | 申请日： | 2013-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN203307423U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 袁永旭 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子枪用坩埚换位装置，属于坩埚换位机构。该装置包括：连接坩埚的坩埚连接部；传动轴，其顶端与坩埚连接部连接；密封座，套设有所述传动轴外；电机固定座，设置在所述密封座下方，通过支柱与所述密封座固定连接；步进电机，设置在所述电机固定座上；轴套，连接所述传动轴与所述步进电机的转轴；光耦板，设置在所述电机固定板上；遮光片，其底端设置在所述轴套上，前端设置在所述光耦板内。该装置采用步进电机有利于自动化控制，提高转动精度。用轴套代替齿轮，消除齿轮的传动空回。光耦板与配合的遮光片，体积小，重量轻，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 电子枪 坩埚 换位 装置 | ||
【主权项】：
一种电子枪用坩埚换位装置，包括：连接坩埚的坩埚连接部；传动轴，其顶端与坩埚连接部连接；密封座，套设有所述传动轴外；电机固定座，设置在所述密封座下方，通过支柱与所述密封座固定连接；其特征在于，包括：步进电机，设置在所述电机固定座上；轴套，连接所述传动轴与所述步进电机的转轴；光耦板，设置在所述电机固定板上，其上设有一光耦片；遮光片，其底端设置在所述轴套上，前端能对应遮挡所述光耦板的光耦片。
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