[实用新型]一种电子枪坩埚的冷却装置有效
| 申请号： | 201320287125.8 | 申请日： | 2013-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN203307422U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 袁永旭 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子枪坩埚的冷却装置，属于镀膜机的电子枪坩埚用的冷却装置。该装置包括：圆筒状本体，其上端开口，开口内设有容置电子枪坩埚的空间；所述圆筒状本体上设有连通圆筒状本体内外的两个透水孔；所述圆筒状本体内沿侧壁设有弧形通道，所述弧形通道的一端口与一个所述透水孔连通；所述弧形通道的另一端口与所述圆筒状本体内底板上设置的折弯通道一端连接；所述折弯通道的另一端与另一个所述透水孔连通。该冷却装置由于在圆筒状本体内的侧壁和底板上均设有冷却用通道，从而在保证对坩埚的侧壁冷却的同时，对其底部也可以进行充分冷却，很好的解决了目前通过外壁上设置水套冷却的电子枪坩埚底部冷却不充分问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子枪 坩埚 冷却 装置 | ||
【主权项】：
一种电子枪坩埚的冷却装置，其特征在于，包括：圆筒状本体，其上端开口，开口内设有容置电子枪坩埚的空间；所述圆筒状本体上设有连通圆筒状本体内外的两个透水孔；所述圆筒状本体内沿侧壁设有弧形通道，所述弧形通道的一端口与一个所述透水孔连通；所述弧形通道的另一端口与所述圆筒状本体内底板上设置的折弯通道一端连接；所述折弯通道的另一端与另一个所述透水孔连通。
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