[实用新型]一种精抛机导轮

摘要

本实用新型所述的一种精抛机导轮，主要用于生产单晶硅抛光片的抛光机上。导轮外壳（1）和导轮底座（2）均采用一体式结构设计，导轮外壳（1）不再有留存抛光液残留的缝隙，导轮外壳（1）与导轮底座（2）过盈配合组装，避免出现松动或相对移动产生摩擦的问题。导轮上盖（6）内孔装有轴封（7）将导轮轴（3）的上部与导轮上盖（6）之间的空隙封闭，防止水抛光液进入导轮内部。导轮外壳（1）为锥形圆柱状结构设计，使抛光机压头下落时不再碰撞导轮上部。本实用新型结构设计简单，安装操作方便，易于维修，方便使用，克服了抛光布上产生的沾污和划道问题，降低了使用成本，提高了工作效率。

主权项

一种精抛机导轮，其特征是：所述的一种精抛机导轮，主要是由导轮外壳（1）、导轮底座（2）、导轮轴（3）、滚珠轴承（4）、轴承挡板（5）、导轮上盖（6）、轴封（7）、橡胶O型环（8）、内六方螺栓（9）构成；其中，导轮外壳（1）和导轮底座（2）均为整体式设计结构，导轮外壳（1）为锥型圆柱体结构，内设一个圆柱形空腔；导轮底座（2）的底部设有一个与圆柱形空腔相匹配的凸台（10），导轮外壳（1）安装在导轮底座上（2）上；装有两个滚珠轴承（4）的导轮轴（3）安装在导轮底座（2）的内孔中，导轮轴（3）的底部固定安装了一块轴承挡板（5）；导轮上盖（6）通过上盖内孔套入导轮轴（3）的上端，用内六方螺栓（9）固定安装在导轮底座（2）上。