[实用新型]带有底栅控电极的平面电子发射光探测器

摘要

本实用公开了一种带有底栅控电极的平面电子发射光探测器，利用光的场特性和隧穿电子发射来实现光电转换和光信号探测，其包括衬底（1）、平面型电子发射体（2）、底栅控电极（3）、电子收集极（4）、SiO2绝缘隔离层（5）、真空封装套件（6）和入射窗（7）。入射光由入射窗（7）进入，在入射光的电场分量作用下，具有低逸出功的平面型电子发射体（2）内的费米能级电子发生隧穿效应，在其外表面形成电子云，并在施加在底栅控电极（3）和电子收集极（4）上的偏置电压的作用下向收集极运动，隧穿电流大小与入射光电场分量大小有关，而入射光强与电场分量模的平方成正比，因此实现了有效的光探测。

主权项

一种带有底栅控电极的平面电子发射光探测器，其包括：衬底（1）、平面型电子发射体（2）、底栅控电极（3）、电子收集极（4）、SiO2绝缘隔离层（5）、真空封装套件（6）和入射窗（7）；其特征在于：在所述衬底（1）上利用薄膜工艺制备金属底栅控电极（3），电极材料为贵金属材料或普通金属材料，在其上方利用电子束蒸发、等离子增强化学气相沉积或磁控溅射的方法制备SiO2绝缘隔离层（5），在隔离层的上方同样采用薄膜工艺制备电子收集极（4），与电子收集极（4）相对的位置制备平面型电子发射体（2），利用真空封装套件（6）和入射窗（7）将其他组件实现真空封装。