[实用新型]一种单晶炉副室清扫装置有效
| 申请号： | 201320261355.7 | 申请日： | 2013-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN203295650U | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 刘英江;王江山;李广哲 | 申请（专利权）人： | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 055550 河北省邢台*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶炉副室清扫装置，包括由一对钳柄和钳臂构成的夹钳，两个钳臂的顶端各固定有一个半圆形的夹盘，且两个夹盘的开口相对设置。本实用新型整体上采用钳形结构，可以对单晶炉副室进行上下360度全面清理，可以清扫原来上下单一推拉、擦拭时不易清扫的地方，提高了副室清扫质量，降低了正常拉晶作业过程中杂质掉落造成卡棱的可能性，有效的提高了晶体生长的一次成晶率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉副室 清扫 装置 | ||
【主权项】：
一种单晶炉副室清扫装置，包括由一对钳柄（1）和钳臂（2）构成的夹钳；其特征在于：所述两个钳臂（2）的顶端各固定有一个半圆形的夹盘（4），且两个夹盘（4）的开口相对设置。
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