[实用新型]一种用于区熔炉的辅助加热装置有效
| 申请号： | 201320261020.5 | 申请日： | 2013-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN203284497U | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 傅林坚;欧阳鹏根;王丹涛;陈明杰;石刚;曹建伟;邱敏秀;蒋庆良 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/16 | 分类号： | C30B13/16 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及区熔炉的辅助加热技术，旨在提供一种用于区熔炉的辅助加热装置。该装置包括置于区熔炉内高频加热线圈下方的辅助加热线圈，由中空的金属圆管按照螺旋线型绕制而成；辅助加热线圈的启绕端在上部，止绕端在下部，且自该两端分别水平引出上端部与下端部；辅助加热线圈的内侧设有一个呈轴对称的中空筒状的加热负载，加热负载与辅助加热线圈之间设有同样呈中空筒状的绝缘件。本实用新型可解决6.5英寸以上的大直径区熔单晶硅生长中面临的因热场分布不合理、热应力过大造成的单晶开裂的问题，解决因热场分布不合理、热应力过大造成的断苞问题，将单晶生产率从现有技术的70%提高到85%以上，并提高单晶品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 熔炉 辅助 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种用于区熔炉的辅助加热装置，包括置于区熔炉内主加热线圈下方的辅助加热器，其特征在于，所述辅助加热器由中空的金属圆管按照螺旋线型绕制而成；辅助加热器的启绕端在上部，止绕端在下部，且自该两端分别水平引出上端部与下端部；辅助加热器的内侧设有一个呈轴对称的中空筒状的加热负载，加热负载与辅助加热器之间设有同样呈中空筒状的绝缘件；该装置还包括呈中空管状的电极，其一端为进水口，另一端则通过金属密封接头分别与辅助加热器的上端部和下端部相连；电极的侧边焊有电缆连接板，并通过水冷电缆与电源控制柜相连接；电源控制柜还通过信号线依次连接数据分析模块、红外测温仪。
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