[实用新型]芯片研磨液配制及供应设备

摘要

本实用新型公开一种芯片研磨液配制及供应设备，包括控制显示器、原液罐、稀释罐、供应罐和终端工艺机台，原液罐的出口和稀释罐的入口通过带有电磁阀的管道连通，稀释罐的出口与供应罐的入口通过带有电磁阀的管道连通，供应罐的出口通过带有电磁阀的管道与终端工艺机台导通，在原液罐、稀释罐和供应罐上均设置有液位传感器，液位传感器与控制显示器通信连接，各电磁阀分别与控制显示器通信连接。本实用新型通过控制显示器对所需稀释度进行设定，设定完成后对各电磁阀和供应泵进行控制对原液进行稀释，所得稀释液的稀释度精确度高，稀释过程高度自动化，节约了大量的人工劳动力，以最优配比进行稀释节约了大量原液的浪费，符合节能环保的大形势。

主权项

一种芯片研磨液配制及供应设备，其特征在于，包括控制显示器、原液罐、稀释罐、供应罐和终端工艺机台，所述原液罐的出口和所述稀释罐的入口通过带有电磁阀的管道连通，所述稀释罐的出口与所述供应罐的入口通过带有电磁阀的管道连通，所述供应罐的出口通过带有电磁阀的管道与所述终端工艺机台导通，在所述原液罐、所述稀释罐和所述供应罐上均设置有液位传感器，所述液位传感器与所述控制显示器通信连接，各所述电磁阀分别与所述控制显示器通信连接。