[实用新型]利用离子束溅射法制备微纳米结构薄膜的装置有效
| 申请号： | 201320212938.0 | 申请日： | 2013-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN203295598U | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 陶海华;张双喜;乔延琦;蒋为桥;陈险峰 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种利用离子束溅射法制备微纳米结构薄膜的装置，该装置包括离子束溅射装置和准直过滤装置，准直过滤装置与离子束溅射装置的样品架连接，准直过滤装置包括：圆盘、若干过滤网和多个圆环，圆盘的下表面与样品架连接，各圆环依次重叠设置在圆盘上表面，过滤网设置在各圆环之间。本实用新型能够有效提高微纳米结构薄膜的质量，在纳米集成回路领域具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 离子束 溅射 法制 纳米 结构 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
一种利用离子束溅射法制备微纳米结构薄膜的装置，其特征在于，包括离子束溅射装置和准直过滤装置，所述准直过滤装置与所述离子束溅射装置的样品架连接，所述准直过滤装置包括：圆盘、若干过滤网和多个圆环，所述圆盘的下表面与所述样品架连接，所述各圆环依次重叠设置在所述圆盘上表面，所述过滤网设置在所述各圆环之间。
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