[实用新型]一种用于真空室腔体的靶材更换机构有效
| 申请号： | 201320202931.0 | 申请日： | 2013-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN203307425U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 薛辉;昌江 | 申请（专利权）人： | 芜湖真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 马荣 |
| 地址： | 241009 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种应用于真空镀膜设备技术领域的靶材更换机构，所述更换机构包括机架（1），阴极（2）与机架（1）活动连接，阴极（2）底部与机架（1）之间通过多个伸缩缸Ⅰ（3）连接，伸缩缸Ⅰ（3）与控制部件（4）连接。本实用新型的更换机构，结构简单合理，安装操作方便，在一定的空间范围内可以准确实现阴极的翻转及复原动作，从而便于更换阴极上的靶材，与现有的阴极翻转机构相比，解决了其操作不便，耗时比较久的问题，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 室腔体 更换 机构 | ||
【主权项】：
一种用于真空室腔体的靶材更换机构，其特征在于：所述更换机构包括机架（1），阴极（2）与机架（1）活动连接，阴极（2）底部与机架（1）之间通过多个伸缩缸Ⅰ（3）连接，伸缩缸Ⅰ（3）与控制部件（4）连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于芜湖真空科技有限公司，未经芜湖真空科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320202931.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：衣架的电镀挂具
- 下一篇：电子枪用坩埚换位装置
- 同类专利
- 专利分类
