[实用新型]一种湿法刻蚀机

摘要

本实用新型公开了一种湿法刻蚀机，该湿法刻蚀机包括刻蚀槽、设置于刻蚀槽内的注液装置和与刻蚀槽通过挡板分隔的溢流槽，注液装置的侧壁开设有注液孔，药液通过注液孔注入刻蚀槽，该湿法刻蚀机还包括导气管，导气管的进气口设置于刻蚀槽内，且位于注液孔的上方，导气管的出气口设置于刻蚀槽内；这样，在向刻蚀槽中注入新鲜药液时，药液从注液装置的注液孔中流出，药液中的气泡从注液装置侧面的导气管排出进入溢流槽，从而能够在保证硅片刻蚀质量的情况下，减少气泡的产生，避免气泡飞溅，进而提高了硅片的合格率。

主权项

一种湿法刻蚀机，包括内置有注液装置（21）的刻蚀槽（22）和与所述刻蚀槽（22）通过挡板（23）分隔的溢流槽（24），所述注液装置（21）的侧壁开设有注液孔（26）；其特征在于，还包括导气管（25），所述导气管（25）的进气口设置于所述注液装置（21）的腔体内，且位于所述注液孔（26）的上方，所述导气管（25）的出气口设置于所述刻蚀槽（22）内。