[实用新型]工件表面图案高度测量装置有效
| 申请号： | 201320160042.2 | 申请日： | 2013-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN203163694U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 许群波;许冲波;张玉丹 | 申请（专利权）人： | 江苏科思机电工程有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 黄明哲 |
| 地址： | 211113 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 工件表面图案高度测量装置，包括定位托盘、定位立柱、激光位移传感器和Z轴位移台，激光位移传感器通过Z轴位移台设置在定位立柱上，定位托盘与定位立柱位置固定，激光位移传感器位于定位托盘正上方。本实用新型使用时，工件放在定位托盘上，用激光位移传感器测量到工件的距离，即可得到工件上的图案高度，测量精度高，操作方便，便于实现快速测量。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 表面 图案 高度 测量 装置 | ||
【主权项】：
工件表面图案高度测量装置，其特征是包括定位托盘、定位立柱、激光位移传感器和Z轴位移台，激光位移传感器通过Z轴位移台设置在定位立柱上，定位托盘与定位立柱位置固定，激光位移传感器位于定位托盘正上方。
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