[实用新型]一种设有吸振装置的微动模块有效
| 申请号： | 201320146246.0 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN203259773U | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 王保亮;杨辅强;朱岳彬;陈文枢;黄静莉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16F15/00;F16F15/04;F16F15/08;F16F15/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型属于光刻装置的技术领域，具体涉及一种设有吸振装置的微动模块。所述设有吸振装置的微动模块包括微动板、设置在微动板下部的隔振装置、设置在微动板上部的承载装置和设置在微动板上的吸振装置。本实用新型通过吸振装置的减振作用，通过对微动模块中的微动板布置合理的吸振装置，可以有效的压制因微动模块固有频率接近带宽造成的较高的振幅，从而可以降低对微动模块固有频率提高的要求，降低了加工难度与成本，并且可以通过调节吸振装置简单快速有效的控制微动模块的振动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设有 装置 微动 模块 | ||
【主权项】：
一种设有吸振装置的微动模块，其包括微动板、设置在所述微动板下部的隔振装置和设置在所述微动板上部的承载装置，其特征在于，还包括设置在所述微动板上的吸振装置。
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