[实用新型]振动元件

摘要

本实用新型提供振动元件，改善了因非谐波模式产生的寄生。振动元件包含：基板，其以厚度剪切振动进行振动，包含处于正反关系的第1主面和第2主面；第1激励电极，其设置在所述第1主面上；以及第2激励电极，其设置在所述第2主面上，在俯视时比所述第1激励电极大，所述第1激励电极配置成在俯视时处于所述第2激励电极的外缘内，能量封闭系数M为15.5≦M≦36.7。

主权项

一种振动元件，其特征在于，该振动元件包含：基板，其以厚度剪切振动进行振动，包含处于正反关系的第1主面和第2主面；第1激励电极，其设置在所述第1主面上；以及第2激励电极，其设置在所述第2主面上，在俯视时比所述第1激励电极大，在俯视时，所述第1激励电极处于所述第2激励电极的外缘内，该振动元件满足： M = K × ( hx / 2 × ts ) × Δ Δ=（fs－fe）/fsfs=R/[ts+te2×（ρe/ρx）]fe=R/[ts+te×（ρe/ρx）]15.5≦M≦36.7，其中，M是能量封闭系数，K是基板的各向异性系数，hx是所述第1激励电极的沿着厚度剪切振动方向的长度，ts是所述基板的厚度，Δ是频率降低量，fs是所述基板的截止频率，fe是在所述基板上配置了所述激励电极时的频率，R是所述基板的频率常数，te是所述第1激励电极和所述第2激励电极的厚度合计，te2是所述第2激励电极的厚度，ρe是所述激励电极的密度，ρx是所述基板的密度。