[实用新型]多晶硅铸锭炉有效
申请号: | 201320138780.7 | 申请日: | 2013-03-25 |
公开(公告)号: | CN203187780U | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 杨细全;周之燕;胡亚兰;万美 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉,包括炉体、置于所述炉体内的隔热笼,所述隔热笼包括侧隔热笼、隔热顶板及隔热底板,所述炉体内还活动安装有提升杆,所述隔热底板包括设有贯穿的开口的外部分和可与所述开口无缝对接的内部分,所述外部分固定在所述炉体内,所述内部分安装在所述提升杆上并通过所述提升杆控制升降。上述多晶硅铸锭炉,隔热底板为组合式,包括设有开口的外部分和可与开口无缝对接的内部分,内部分通过提升杆控制升降,这样在长晶阶段,坩埚底部的热量可以通过外部分上的开口散热,使得坩埚边角及中心均获得较大的纵向温度梯度从而进行晶体生长,使得坩埚底部温度控制更容易,有利于得到理想的固液界面,提高铸锭品质。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉,包括炉体、置于所述炉体内的隔热笼,所述隔热笼包括侧隔热笼、隔热顶板及隔热底板,其特征在于,所述炉体内还活动安装有提升杆,所述隔热底板包括设有贯穿的开口的外部分和可与所述开口无缝对接的内部分,所述外部分固定在所述炉体内,所述内部分安装在所述提升杆上并通过所述提升杆控制升降。
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