[实用新型]一种制备CIGS薄膜太阳能电池用的激光划刻系统

摘要

一种制备CIGS薄膜太阳能电池用的激光划刻系统，系统结构中包括激光器，在激光器发射出的激光主光路上增设用于将激光分为透射光束及反射光束的半透半反反射镜，在反射光束光路上依次设置功率衰减器、第一全反反射镜、第一快门、第一扩束镜及第二全反反射镜；在透射光束光路上依次设置第三全反反射镜、倍频器、滤波器、功率衰减器、第四全反反射镜、第二快门、第二扩束镜及第五全反反射镜，反射光束借助反射光束光路形成的光束a与透射光束借助透射光束光路形成的光束b聚焦形成光斑。该系统可以设计出不同波长的激光组合方式以用于对铜铟镓硒薄膜电池划刻，可提高产品的加工效率、划线效果和电池电学特性。

主权项

一种制备CIGS薄膜太阳能电池用的激光划刻系统，系统结构中包括激光器（1），其特征在于：在激光器（1）发射出的激光主光路上增设用于将激光分为透射光束（3）及反射光束（4）的半透半反反射镜（2），在反射光束（4）光路上依次设置第二功率衰减器（4‑1）、第一全反反射镜（4‑2）、第一快门（4‑3）、第一扩束镜（4‑4）及第二全反反射镜（4‑5）；在透射光束（3）光路上依次设置第三全反反射镜（3‑1）、倍频器（3‑2）、滤波器（3‑3）、第一功率衰减器（3‑4）、第四全反反射镜（3‑5）、第二快门（3‑6）、第二扩束镜（3‑7）及第五全反反射镜（3‑8），反射光束（4）借助反射光束光路形成的光束a（5）与透射光束（3）借助透射光束光路形成的光束b（6）聚焦形成光斑。