[实用新型]一种压力机有效
申请号: | 201320076857.2 | 申请日: | 2013-02-19 |
公开(公告)号: | CN203141982U | 公开(公告)日: | 2013-08-21 |
发明(设计)人: | 平尾诚 | 申请(专利权)人: | 泰库尼思科电子(苏州)有限公司 |
主分类号: | B32B37/10 | 分类号: | B32B37/10;B32B38/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215153 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种压力机,包括机体,下压板,上压板和与所述上压板相连接的气缸,所述上压板板面上铺设有气垫,所述气垫的进气管位于所述气垫中心,所述进气管穿过所述上压板与供气管相连接,通过本实用新型提出的一种压力机,使得晶圆基材之间粘贴平整,防止产生裂痕,达到提高产品良率,提高生产效率的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 压力机 | ||
【主权项】:
一种压力机,包括机体,下压板,上压板和与所述上压板相连接的气缸,其特征在于,所述上压板板面上铺设有气垫,所述气垫的进气管位于所述气垫中心,所述进气管穿过所述上压板与供气管相连接。
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