[实用新型]一种玻璃晶圆清洗治具有效
| 申请号： | 201320076856.8 | 申请日： | 2013-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN203140395U | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 平尾诚 | 申请（专利权）人： | 泰库尼思科电子（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215153 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种玻璃晶圆清洗治具，其包括：两侧挡板和连接两侧挡板的至少三根挡条；所述各挡条上对应设有多个卡槽，每个挡条上的一个卡槽均能与其他挡条上的一个卡槽落在同一平面内；所述两侧挡板上对称设有一对通孔，通过本实用新型提出的玻璃晶圆清洗用的治具，可以达到提高清洗效果，保证产品质量的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 清洗 | ||
【主权项】：
一种玻璃晶圆清洗治具，其特征在于，包括：两侧挡板和连接两侧挡板的至少三根挡条；所述各挡条上对应设有多个卡槽，每个挡条上的一个卡槽均能与其他挡条上的一个卡槽落在同一平面内；所述两侧挡板上对称设有一对通孔。
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