[实用新型]具有自洁式视窗的蒸镀设备有效
| 申请号： | 201320076057.0 | 申请日： | 2013-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN203187743U | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 黄世壬;陈君健;廖科峰;任常宝;黎胜;陈官璧;邱文鼎;曾昭隆 | 申请（专利权）人： | 生阳新材料科技（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广东国欣律师事务所 44221 | 代理人： | 李文 |
| 地址： | 315000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型有关于一种蒸镀设备，主要包含有一腔体，腔体开设有一视窗口，并于正对视窗口的位置安装一透明视窗板，同时于透明视窗板设置一加热器，用以对透明视窗板进行加热至高于蒸镀源的熔点，如此便能阻止加热后的蒸镀源的气体沉积在透明视窗板的内表面，让操作人员可以经由透明视窗板观察腔体内部的情形。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 视窗 设备 | ||
【主权项】：
一种具有自洁式视窗的蒸镀设备，其特征在于，包含有：一腔体，具有一内部腔室及一视窗口，该视窗口贯穿该腔体的内、外壁面，使该内部腔室经由该视窗口与外界相通；一支撑座，固定于该腔体的外壁面且具有一安装槽，该安装槽连通该腔体的视窗口；一透明视窗板，固定于该支撑座的安装槽内且正对该腔体的视窗口；以及一加热器，设于透明视窗板，用以对该透明视窗板进行加热。
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