[实用新型]三自由度操控平台有效
| 申请号： | 201320060345.7 | 申请日： | 2013-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN203133242U | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 毛国梁;邵凌明 | 申请（专利权）人： | 上海宏测半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 201114 上海市闵行区浦江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及集成电路测试领域，公开了一种三自由度操控平台，用于对测试系统或测试头的移动及翻转控制。本实用新型中，采用运动底盘实现三自由度操控平台的移动，升降机构满足对测试头高度调节的需要，实现在高度700mm至1300mm的行程内实现上下升降的功能，翻转机构模组包含单轴水平180度转动部件，单轴垂直360度转动部件和抱臂双轴270度上下翻转部件，实现三自由度翻转的功能，以满足测试头操作面在上下、左右和前方与机械手或探针台对接的需求，从而有效提高操控效率和速度。 | ||
| 搜索关键词： | 自由度 操控 平台 | ||
【主权项】：
一种三自由度操控平台，其特征在于，包括：运动底盘（11）、升降机构（12）、翻转机构、测试头固定机构（16）和测试头（17）；所述升降机构（12）固定在所述运动底盘（11）上，所述翻转机构固定在所述升降机构（12）上，测试头固定机构将所述测试头固定在所述翻转机构上；其中，所述翻转机构模组包含水平转动部件（13）、垂直转动部件（14）和抱臂翻转部件（15）；所述水平转动部件（13）转动时带动所述垂直转动部件（14）、所述抱臂翻转部件（15）和所述测试头（17）一起做水平转动；所述垂直转动部件（14）转动时带动所述抱臂翻转部件（15）及所述测试头（17）一起做垂直转动；所述测试头在抱臂翻转部件（15）内翻转。
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