[实用新型]一种用于超薄外延层生长的液相外延石墨舟

摘要

本专利公开了一种用于超薄外延层生长的液相外延石墨舟，该石墨舟包括盖板、母液舟、滑板和底座。该专利的特征是盖板为分离的，每个都能很严实地盖在母液舟上而不易滑动，同时液槽的空隙部分如同一个楔形，较低位置处是一个很窄的狭缝，从而减少熔源与衬底的接触时间，实现低维结构超薄材料的液相外延近平衡态生长，而且衬底滑板正反面各有一个不同深度的衬底槽，适合不同衬底厚度情况或因为衬底厚度误差带来的衬底槽过深或太浅的情况，底座有回收母液的回收槽，便于母液的多次使用。本专利的优点是：采用液相外延技术实现超薄外延层或常规厚膜生长，近平衡态生长的超纯外延层为设计新型材料和构建新型器件提供了一个新的研究方向。

主权项

一种用于超薄层生长的液相外延石墨舟，包括盖板（1.0）、母液舟（2.0）、衬底滑板（3.0）和底座（4.0）；其特征在于：母液舟（2.0）通过小孔固定在底座上，即用石墨圆棒穿过底座上的圆孔（4.2）与对应母液舟上的圆孔（2.1），其液槽的空隙部分如一个楔形，较低位置处是一个很窄的狭缝（2.4），液槽上有单独使用盖板（1.0），形状如同尺寸相差一点的两个方块链接在一起，能很严实地盖在液槽上；衬底滑板正反面各有一个不同槽深的衬底槽（3.2），而且有预留的滑板空隙（3.1），安放的滑板夹片（3.4），底座下方的回收槽（4.1）之间是隔开的，用于回收不同母液，避免之间的相互污染，用石墨圆棒穿入底座上的小圆孔（4.2）与母液舟的小圆孔（2.1）而将母液舟与底座固定，使衬底滑板在其中间滑动，底座下方有几个与母液舟（2.3）对应的回收槽（4.1），便于无污染的母液回收，实现母液再次利用。