[实用新型]一种辉光放电清洗结构

摘要

本实用新型公开了一种辉光放电清洗结构，包括有后套管，所述的后套管右端密封焊接连接一波纹管的左端，后套管的左端通过固定法兰连接前套管的右端，波纹管的左端焊接固定有连接法兰，在连接法兰上固定有芯轴，且芯轴穿进波纹管内部，在所述的波纹管和后套管的外侧设有多根导向杆，所述的导向杆的右端固定在连接法兰上，左端固定在一活动法兰上，所述的活动法兰套在后套管的外侧，在所述的前套管的左端连接有电极头。本实用新型可以既有效的避免破坏原有真空环境方便的更换电极头的问题，又可以通过调节辉光放电电极头在真空室中的位置，保持真空室辉光放电清洗均匀性，同时具有操作简单，安装、拆卸方便，易更换的特点。

主权项

一种辉光放电清洗结构，其特征在于：包括有后套管，所述的后套管右端密封焊接连接一波纹管的左端，后套管的左端通过固定法兰连接前套管的右端，波纹管的左端焊接固定有连接法兰，在连接法兰上固定有芯轴，且芯轴穿进波纹管内部，在所述的波纹管和后套管的外侧设有多根导向杆，所述的导向杆的右端固定在连接法兰上，左端固定在一活动法兰上，所述的活动法兰套在后套管的外侧，在所述的前套管的左端连接有电极头，所述的电极头包括有焊接连接的导电极、陶瓷筒和螺纹套，在所述的前套管的密封槽上压入密封圈，所述的螺纹套的外螺纹与前套管的内螺纹螺旋连接，在所述的导电极上通过螺钉固定有绝缘套和电极帽，一根导线的一端插入所述的导电极中，另一端穿过所述的后套管和波纹管并从连接法兰上穿出。