[实用新型]光学表面及亚表面吸收缺陷的高分辨率检测装置有效
| 申请号： | 201320048356.3 | 申请日： | 2013-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN203069523U | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 吴周令;陈坚;王炜;黄明 | 申请（专利权）人： | 合肥知常光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/71 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人： | 金凯 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光学表面及亚表面吸收缺陷的高分辨率检测装置，是通过高度聚焦的泵浦激光照射样品来激发样品的红外辐射，同时利用泵浦激光所激发的红外辐射在特定波段对一些固体材料有一定穿透深度的物理特性来获得固体材料表面及亚表面对泵浦激光的光学吸收特性。通过扫描样品，本装置可以在样品表面和亚表面区域内获得微米到亚微米量级的横向分辨率，适用于光热无损探伤、光热精密检测、光热显微成像与缺陷分析、特别是用于强激光系统内的光学元件缺陷检测等多个领域。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 表面 吸收 缺陷 高分辨率 检测 装置 | ||
【主权项】：
光学表面及亚表面吸收缺陷的高分辨率检测装置，其特征在于：包括有相对被测样品前表面设置的泵浦光源，设置于泵浦光源和被测样品之间的高倍数、高数值孔径光学聚焦系统，相对被测样品后表面设置的红外滤波器，依次设置于红外滤波器后端的红外信号收集系统和红外探测系统。
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