[实用新型]一种硅片清洗装置有效
| 申请号： | 201320038588.0 | 申请日： | 2013-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN203044409U | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 张涛;毛伟;张存新;王平军;刘华;彭之健;丰福生;郭雄 | 申请（专利权）人： | 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 338000 江西省新余*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片清洗装置,其包括托盘和装载板，所述装载板用于粘接在所述托盘和硅棒之间，所述托盘分布有托盘管道；所述装载板包括第一表面，所述第一表面安装有所述托盘，所述第一表面设有凹槽，所述凹槽沿着硅棒的中心轴方向延伸；所述凹槽与所述托盘管道相连通。由于本实用新型在装载板开凹槽冲淋硅片，因此相比现有技术会将硅片冲洗得更干净，工作效率更高和耗水量更少，并且，该装置不仅可以应用于预清洗过程中，也可应用于线切割过程中，达到一种结构多用的功能，减少加工成本，方便操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗装置,其包括托盘和装载板，所述装载板用于粘接在所述托盘和硅棒之间，其特征在于，所述托盘分布有托盘管道；所述装载板包括第一表面，所述第一表面安装有所述托盘，所述第一表面设有凹槽，所述凹槽沿着硅棒的中心轴方向延伸；所述凹槽与所述托盘管道相连通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西赛维LDK太阳能高科技有限公司，未经江西赛维LDK太阳能高科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320038588.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：计时电动玩具
- 下一篇：带有发光显示的消防水带接头
