[实用新型]多晶硅生产中副产物的回收系统有效
| 申请号： | 201320034159.6 | 申请日： | 2013-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN203033766U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 齐林喜 | 申请（专利权）人： | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/50 | 分类号： | C01B3/50;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 范晓斌;张群峰 |
| 地址： | 015500 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅生产中副产物的回收系统，用于将多晶硅生产时产生的还原尾气中的氢气、氯硅烷和氯化氢气体回收利用，所述回收系统包括：第一冷凝单元，用于从所述还原尾气中分离出大部分氯硅烷；与所述第一冷凝单元直接连通的吸附单元，用于除去从所述第一冷凝单元中出来的还原尾气中全部的氯化氢以及剩余的氯硅烷，从而得到纯氢；与所述吸附单元连通的冷氢化反应器，所述吸附单元用氢气再生得到的再生气作为冷氢化反应的原料送入所述冷氢化反应器。本实用新型不需要设置吸收-脱吸装置将尾气中的HCl单独分离出来，避免了对HCl冷凝分离以及汽化，节省了大量的热量及冷量。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 副产物 回收 系统 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产中副产物的回收系统，用于将多晶硅生产时产生的还原尾气中的氢气、氯硅烷和氯化氢气体回收利用，其特征在于，所述回收系统包括：第一冷凝单元，用于从所述还原尾气中分离出大部分氯硅烷；与所述第一冷凝单元直接连通的吸附单元，用于除去从所述第一冷凝单元中出来的还原尾气中全部的氯化氢以及剩余的氯硅烷，从而得到纯氢；与所述吸附单元连通的冷氢化反应器，所述吸附单元用氢气再生得到的再生气作为冷氢化反应的原料送入所述冷氢化反应器。
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