[实用新型]太阳能电池硅片的化学表面处理装置有效
| 申请号： | 201320029787.5 | 申请日： | 2013-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN203055970U | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 盛遵冰;黄云辉;卢小武;居建华 | 申请（专利权）人： | 无锡思锐电子设备科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214072 江苏省无锡市滨湖区蠡园开发区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种太阳能电池硅片的化学表面处理装置，在工作槽的相对两槽壁之间转动架设有若干滚轴，在滚轴上固定有滚轮，在工作槽设有喷头，储液罐的出液口与喷头的进液口之间通过进液管道相连，在进液管道上设有流量计，在工作槽上开设有回液出口，在储液罐上设有回液进口，在工作槽的回液出口与储液罐的回液进口之间通过回液管道相连，在回液管道上设有回收泵，在储液罐上连接有加液管，在加液管上设有加液阀。本实用新型节约了化学液的消耗，降低生产成本；本实用新型简单可靠，维修方便。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 硅片 化学 表面 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池硅片的化学表面处理装置，其特征是：它包括工作槽（2）、储液罐（8）、流量计（5）、回收泵（6）与加液阀（7），在工作槽（2）的相对两槽壁之间转动架设有若干滚轴（3），在滚轴（3）上固定有滚轮（4），在工作槽（2）设有喷头（1），储液罐（8）的出液口与喷头（1）的进液口之间通过进液管道相连，在进液管道上设有流量计（5），在工作槽（2）上开设有回液出口，在储液罐（8）上设有回液进口，在工作槽（2）的回液出口与储液罐（8）的回液进口之间通过回液管道相连，在回液管道上设有回收泵（6），在储液罐（8）上连接有加液管，在加液管上设有加液阀（7）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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