[实用新型]一种分体式差压传感器有效

专利信息
申请号: 201320028493.0 申请日: 2013-01-18
公开(公告)号: CN203011611U 公开(公告)日: 2013-06-19
发明(设计)人: 俞永和 申请(专利权)人: 北京瑞普恩德斯豪斯仪表有限公司
主分类号: G01L13/06 分类号: G01L13/06
代理公司: 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人: 朱丽华
地址: 100027 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种分体式差压传感器,其包括有差压芯片单元和静压芯片单元,所述的差压芯片单元和静压芯片单元各为独立的单元体芯片,其中:所述的差压芯片单元中内置有差压硅片,并至少设有一对差压供电引脚DPIn+、DPIn-和一对差压输出引脚DPout+、DPout-;所述的静压芯片单元内置有静压硅片。通过静压芯片的基体,将差压及静压芯片的供电和输出引到外部。此设计简化产品结构,使得产品的制作及使用成本大大降低。
搜索关键词: 一种 体式 传感器
【主权项】:
一种分体式差压传感器,其特征在于:包括有差压芯片单元和静压芯片单元,所述的差压芯片单元和静压芯片单元各为独立的单元体芯片,其中:所述的差压芯片单元中内置有差压硅片,并至少设有一对差压供电引脚DPIn+、DPIn‑和一对差压输出引脚DPout+、DPout‑;所述的静压芯片单元内置有静压硅片,并至少设有一对静压供电端子APS+、APS‑和一对静压输出端子APO+、APO‑;在所述静压芯片单元的单元体芯片上还设有四个差压引线端子,差压芯片单元的一对差压供电引脚DPIn+、DPIn‑和一对差压输出引脚DPout+、DPout‑分别通过引线连接到这四个差压引线端子上。
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