[实用新型]一种表面具有凸起的二氧化钛薄膜的沉积装置

摘要

一种表面具有凸起的二氧化钛薄膜的沉积装置，包括由坩埚和与坩埚相配合的坩埚盖所形成的封闭反应腔，反应腔的底壁上设有用于盛放钛源的凹槽，反应腔内还设有设置在凹槽上方的衬底，所述的衬底下表面距离反应腔底壁的垂直高度为5-25mm。本实用新型的装置适用于实验室条件下，不必在该装置的基础上另设辅助装置，减少了实验的成本和设备的运转成本；在使用时，只需将该装置放入加热装置如加热炉内，通过设定所需的参数，即可进行实验操作，制得所需的表面具有凸起的薄膜，设备成本低廉且制得的薄膜效果理想。

主权项

一种表面具有凸起的二氧化钛薄膜的沉积装置，其特征在于：包括由坩埚（1）和与坩埚（1）相配合的坩埚盖（2）所形成的封闭反应腔，反应腔的底壁上设有用于盛放钛源的凹槽（5），反应腔内还设有设置在凹槽（5）上方的衬底（3），所述衬底（3）的下表面距离反应腔底壁的垂直高度为5‑25mm。