[发明专利]PVD腔室遮挡盘检测装置和PVD腔室在审
| 申请号： | 201310751929.3 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104746034A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 沈围;叶华;徐悦 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/22 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 陈振 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种PVD腔室遮挡盘检测装置和PVD腔室，包括传感器和观察窗，所述观察窗为一个，所述传感器均为漫反射传感器。本发明的PVD腔室遮挡盘检测装置仅采用一个观察窗，降低了设备造价，并且设备外型简单美观，再者本发明采用了漫反射激光传感器来检测遮挡盘位置，降低了设备成本。 | ||
| 搜索关键词： | pvd 遮挡 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种PVD腔室遮挡盘检测装置，包括传感器和观察窗，其特征在于，所述观察窗为一个，所述传感器均为漫反射传感器。
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