[发明专利]一种砷化镓多晶合成装置在审
| 申请号： | 201310744999.6 | 申请日： | 2013-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN103741222A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 任知良;王明刚;王雪梅 | 申请（专利权）人： | 青岛润鑫伟业科贸有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C30B28/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种砷化镓多晶无液封合成装置，包括合成炉体和位于合成炉体内的石墨系统，石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元，保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶，加热单元包括电极、加热器和外围温控电路，合成单元、以及加热单元中的电极和加热器位于保温单元的内部，加热单元中的加热器和电极位于合成单元外围中下部，合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚。石墨坩埚和石墨坩埚盖在连接处设计台阶形状相吻合，所述运动单元包括石墨坩埚杆和不锈钢坩埚杆，石墨坩埚杆和不锈钢坩埚杆相连接，不锈钢坩埚杆和合成炉体之间采用可升降转动的活动连接，合成炉体外部的转动电机驱动不锈钢坩埚杆升降和转动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓 多晶 合成 装置 | ||
【主权项】：
一种砷化镓多晶无液封合成装置，包括合成炉体和位于合成炉体内的石墨系统，石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元，保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶，加热单元包括电极、加热器和外围温控电路，合成单元、以及加热单元中的电极和加热器位于保温单元的内部，加热单元中的加热器和电极位于合成单元外围中下部，合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚，其特征在于，所述石墨系统还包括使合成单元升降转动的运动单元，运动单元与合成单元、合成炉体相连接；石墨坩埚和石墨坩埚盖在连接处设计台阶形状相吻合，所述运动单元包括石墨坩埚杆和不锈钢坩埚杆，石墨坩埚杆和不锈钢坩埚杆相连接，不锈钢坩埚杆和合成炉体之间采用可升降转动的活动连接，合成炉体外部的转动电机驱动不锈钢坩埚杆升降和转动。
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