[发明专利]一种MEMS可调光衰减器的封装结构及封装方法有效
| 申请号： | 201310744255.4 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103698854A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 李四华;李维;杨忠钰;施林伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市盛喜路科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/26 | 分类号： | G02B6/26;G02B6/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS可调光衰减器的封装结构，包括聚焦透镜、尾纤套管和采用微机电系统制作的光芯片，尾纤套管用粘结胶固定在一空心圆柱磁铁内，构成磁组件1；聚焦透镜一端为光信号入射面，另一端具有光反射面；聚焦透镜用粘结胶固定在另一空心圆柱磁铁内，光芯片用粘结胶固定在空心圆柱磁铁上用于与磁组件相吸合的端部，构成磁组件2；相互磁吸合并用粘结胶加固的磁组件1、磁组件2构成可调光衰减器组件；光衰减器组件置于一空心的外部保护套管，且外部保护套管两端用粘结胶灌封，形成可调光衰减器。本发明的目的是提供一种小型化、低成本及高可靠性的MEMS可调光衰减器的封装结构及封装方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 调光 衰减器 封装 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS可调光衰减器的封装结构，包括聚焦透镜（4）、带输入光纤（31）、输出光纤（32）的尾纤套管（3）和采用微机电系统制作的光芯片（5），其特征在于：还包括可相互磁吸合的第一空心圆柱和第二空心圆柱，所述带输入光纤、输出光纤的尾纤套管（3）用粘结胶固定在第一空心圆柱内，构成磁组件（1）；所述聚焦透镜（4）一端为光信号入射面，另一端具有光反射面（41），聚焦透镜（4）光线汇聚点位于光反射面（41）上；聚焦透镜（4）用粘结胶固定在第二空心圆柱内；所述光芯片（5）用粘结胶固定在第二空心圆柱上用于与第一空心圆柱相吸合的端部，构成磁组件（2）； 所述磁组件（2）上第二空心圆柱与磁组件（1）在磁吸引力作用下紧紧吸合并用粘结胶加固，相互磁吸合并用粘结胶加固的磁组件（1）、磁组件（2）构成可调光衰减器组件；所述光衰减器组件置于一空心的外部保护套管，且外部保护套管两端用粘结胶灌封，形成可调光衰减器。
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