[发明专利]基于动态流量法测试真空规吸放气量的装置及方法无效
| 申请号： | 201310724830.4 | 申请日： | 2013-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN103808458A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 董猛;冯焱;李得天;习振华;赵澜;魏万印;李莉 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 孟阿妮 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于动态流量法测试真空规吸放气量的装置及方法，其中，装置包括真空室，所述真空室内设置有隔板，所述隔板将所述真空室内的空腔分隔为第一游室和第二游室，所述隔板上设置有连通所述第一游室和所述第二游室的导流孔，所述第一游室通过第一阀门连接有第一真空规；所述第二游室连接有第二真空规、且通过第二阀门连接有抽气系统，所述第一游室还连接有用于连接待测真空规的第三阀门。上述方案，通过抽气系统对真空室进行持续抽气，使第一游室和第二游室达到动态平衡，并在动态平衡后根据导流孔的气体流量来测试真空规的吸放气量，测试过程易于操作控制，且测量不确定度小。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 动态 流量 测试 真空 规吸放 气量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于动态流量法测试真空规吸放气量的装置，其特征在于，包括真空室，所述真空室内设置有隔板，所述隔板将所述真空室内的空腔分隔为第一游室和第二游室，所述隔板上设置有连通所述第一游室和所述第二游室的导流孔，所述第一游室通过第一阀门连接有第一真空规；所述第二游室连接有第二真空规、且通过第二阀门连接有抽气系统，所述第一游室还连接有用于连接待测真空规的第三阀门。
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