[发明专利]上电极组件进气装置及上电极组件在审
| 申请号： | 201310724226.1 | 申请日： | 2013-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN104752131A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 赵隆超 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 陈振 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种上电极组件进气装置及上电极组件，包括进气接头，盖板，以及筛板。进气接头安装在盖板的第一表面上；盖板的第二表面与筛板的第一表面紧密贴合；盖板包括盖板主体和进气部，主体与进气部固定连接，进气部设置在上电极组件的平面线圈的外侧与进气接头相匹配；筛板的第一表面设置有至少一条流道，流道与进气部连通；所述筛板设置有多个用于工艺气体流通的筛孔。其可有效避免进气接头的感应加热，从而也可降低气体离化的离子对进气接头对其内壁的轰击加热。防止进气接头温度过高。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 组件 装置 | ||
【主权项】：
一种上电极组件进气装置，其特征在于，包括进气接头，盖板，以及筛板，其中：所述进气接头安装在所述盖板的第一表面上；所述盖板的第二表面与所述筛板的第一表面紧密贴合；所述盖板包括盖板主体和进气部，所述盖板主体与所述进气部固定连接，所述进气部与所述进气接头相匹配；所述筛板的第一表面设置有至少一条用于工艺气体流通的流道，所述流道与所述进气部连通；所述筛板设置有多个用于工艺气体流通的筛孔。
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