[发明专利]用于测量有机薄膜的厚度的设备和有机薄膜沉积设备有效
| 申请号： | 201310722647.0 | 申请日： | 2013-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN104004991B | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 李润宰;崔永默 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 王兆赓,李云霞 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于测量有机薄膜的厚度的设备和具有该设备的有机薄膜沉积设备。所述用于测量有机薄膜的厚度的设备包括基座；第一支撑件，结合到基座；第二支撑件，包括第一端和第二端，第一端连接到第一支撑件；检测器构件，连接到第二支撑件的第二端，以测量沉积在沉积目标上的有机薄膜的厚度；位置调节器构件，被构造为调节检测器构件的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 有机 薄膜 厚度 设备 沉积 | ||
【主权项】：
一种用于测量有机薄膜的厚度的设备，所述设备包括：基座；第一支撑件，结合到基座；第二支撑件，包括第一端和第二端，其中，第一端连接到第一支撑件；检测器构件，连接到第二支撑件的第二端，并被构造为测量沉积在沉积目标上的有机薄膜的厚度；位置调节器构件，被构造为调节检测器构件的位置,其中，位置调节器构件包括：旋转驱动器，设置在第一支撑件上，并被构造为使第二支撑件绕第二支撑件的第一端旋转，从而调节第一支撑件和检测器构件之间的角度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星显示有限公司，未经三星显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310722647.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：圆筒状蒸发源
- 下一篇：汽车前照灯水平转角控制方法
- 同类专利
- 专利分类
