[发明专利]一种高精度气体定量定压供应装置

摘要

本发明涉及一种高精度气体定量定压供应装置，属于测试与控制领域，该装置包括高精度可调压无油空气压缩机、节流阀、压力计、气体质量流量计和控制器，控制器利用压力计采集到的气体压力信号反馈控制空气压缩机的启停，来实现输出气体压力的控制，利用气体质量流量计采集到的气体流量值采用数字PID控制方法反馈控制节流阀的开度，以控制气体流量，从而实现对输出气体压力与流量的精确控制，本发明不仅可以精确调节供应气体的流量，还能够精确控制供应气体的压力。

主权项

一种高精度气体定量定压供应装置，其特征在于该装置包括高精度可调压无油空气压缩机（1）、节流阀（2）、压力计（3）气体质量流量计（4）和控制器（5）；空气经空气压缩机(1)压缩后通过气体输送软管送至节流阀(2)；节流阀(2)将空气压缩机（1）压缩后的气体通过气体输送软管送至压力计(3)，压力计(3)一路将气体送至气体质量流量计(4)，另一路将压力计(3)采集来的气体压力信号通过信号线输送给控制器(5)，气体质量流量计(4)收到压力计（3）输送来的气体一路输出，另一路将气体质量流量计(4)采集到的气体流量值通过信号线输送至控制器(5)，控制器(5)利用压力计(3)采集到的气体压力信号反馈控制空气压缩机(1)的启停，来实现输出气体压力的控制，利用气体质量流量计(4)采集到的气体流量值采用数字PID控制方法反馈控制节流阀(2)的开度，以控制气体流量；所述控制器(5)采用比较法控制气体压力，即将采集到的气体压力值与设定值进行比较，如果气体压力值大于或等于设定值，则控制器(5)发送指令让空气压缩机(1)停止工作，如果气体压力值小于设定值，则控制器(5)发送指令让空气压缩机(1)开始工作，以控制气体压力。