[发明专利]一种干刻设备的电极和干刻设备有效
| 申请号： | 201310721996.0 | 申请日： | 2013-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN103943450A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 季云龙;郭晓龙;华梓同;杨冬 | 申请（专利权）人： | 成都天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种干刻设备的电极和干刻设备。所述电极包括：电极基底；设置于所述电极基底上的绝缘层；位于所述绝缘层上且围绕所述绝缘层周边设置的边缘凸台，所述边缘凸台具有用于安装所述干刻设备的支撑杆的垫结构；其中，所述边缘凸台包含多个突起结构，所述多个突起结构布置在所述边缘凸台上且围绕所述边缘凸台的周边。本发明通过在干刻设备的电极的边缘凸台上且围绕所述边缘凸台的周边布置多个突起结构，使得基板在多个突起结构处与边缘凸台之间存在细小的空隙，降低了基板与边缘凸台之间的附着力，有效的改善了吸片现象，提高了基板刻蚀的合格率，增加了干刻设备的电极的使用周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 电极 | ||
【主权项】：
一种干刻设备的电极，其特征在于，所述电极包括：电极基底；设置于所述电极基底上的绝缘层；位于所述绝缘层上且围绕所述绝缘层周边设置的边缘凸台，所述边缘凸台具有用于安装所述干刻设备的支撑杆的垫结构；其中，所述边缘凸台包含多个突起结构，所述多个突起结构布置在所述边缘凸台上且围绕所述边缘凸台的周边。
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