[发明专利]烷氧基甲硅烷基胺化合物及其应用有效
| 申请号： | 201310698533.7 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN103864837B | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 萧满超;R·M·皮尔斯泰恩;R·霍;D·P·斯彭斯;雷新建 | 申请（专利权）人： | 弗萨姆材料美国有限责任公司 |
| 主分类号： | C07F7/18 | 分类号： | C07F7/18;C07F7/10 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 吴亦华 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述了具有下述式A或式B的烷氧基甲硅烷基胺前体其中R1和R4独立地选自直链或支链C1至C10烷基、C3至C12烯基、C3至C12炔基、C4至C10环烷基和C6至C10芳基，并且其中R2、R3、R5和R6独立地选自氢、直链或支链C1至C10烷基、C2至C12烯基、C2至C12炔基、C4至C10环烷基、C6至C10芳基以及直链或支链C1至C10烷氧基。本文还描述了使用至少一种具有本文所述的式A和／或B的前体的沉积工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 烷氧基甲 硅烷 化合物 及其 应用 | ||
【主权项】：
包含至少一种具有Si‑N键、Si‑O键和Si‑H键的化合物的前体，选自：((MeO)2HSi)2NMe、((EtO)2HSi)2NMe、((MeO)MeHSi)2NMe、((EtO)MeHSi)2NMe、((MeO)2HSi)2NEt、((EtO)2HSi)2NEt、((MeO)MeHSi)2NEt、((EtO)MeHSi)2NEt、((MeO)2HSi)2NPrn、((EtO)2HSi)2NPrn、((MeO)MeHSi)2NPrn、((EtO)MeHSi)2NPrn、((MeO)2HSi)2NPri、((EtO)2HSi)2NPri、((MeO)MeHSi)2NPri、((EtO)MeHSi)2NPri、((MeO)2HSi)2NBut、((EtO)2HSi)2NBut、((MeO)MeHSi)2NBut、((EtO)MeHSi)2NBut、((MeO)2HSi)3N、((EtO)2HSi)3N、((MeO)MeHSi)3N、((EtO)MeHSi)3N、((MeO)2HSi)2NSiH2(OBut)、((EtO)2HSi)2NSiH2(OBut)、((MeO)2HSi)2NSiH(OEt)2和((tBuO)H2Si)3N。
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