[发明专利]深孔镀铜加速剂的测量方法有效
| 申请号： | 201310697804.7 | 申请日： | 2013-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN103698384A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 李明;孙琪;曹海勇;李义 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/48 | 分类号： | G01N27/48 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 牛山;陈少凌 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种深孔镀铜加速剂的测量方法，包括如下步骤：步骤（1）选择金属电极作为工作电极，惰性金属片为对电极，饱和甘汞电极为参比电极，组成三电极体系，选择铜电镀液；步骤（2）测量不含加速剂的基础镀液的阴极极化曲线；步骤（3）在上述基础镀液中加入不同浓度的加速剂，分别测量对应的阴极极化曲线；步骤（4）比较（2）和（3）的阴极极化曲线，分析所述曲线上的相关参数，获得相关电化学参数与加速剂浓度的定量关系曲线；步骤（5）采用同样电极体系测量实际待测定铜镀液，得结果。本发明采用了阴极极化曲线作为测定对象，更贴近实际电镀过程，从而对铜电镀液管理及过程质量控制产生指导作用，促进TSV电镀铜工艺的工业化应用。 | ||
| 搜索关键词： | 镀铜 加速 测量方法 | ||
【主权项】：
一种深孔镀铜加速剂的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤（1）选择金属电极作为工作电极，惰性金属片为对电极，饱和甘汞电极为参比电极，组成三电极体系，选择铜电镀液；步骤（2）测量不含加速剂的基础镀液的阴极极化曲线；步骤（3）在上述基础镀液中加入不同浓度的加速剂，分别测量对应的阴极极化曲线；步骤（4）比较（2）和（3）的阴极极化曲线，分析所述曲线上的相关参数，获得相关电化学参数与加速剂浓度的定量关系曲线；步骤（5）采用同样电极体系测量实际待测定铜镀液，计算对应的电化学参数，通过与上述定量关系曲线对比，即得被测定铜镀液中加速剂含量。
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