[发明专利]一种棱镜式环形激光器光路共面度检测系统

摘要

本发明公开了一种棱镜式环形激光器光路共面度检测系统，包括固定在基座上的待检棱镜式环形谐振腔，沿棱镜式环形谐振腔的一角上设有与外源稳频激光器出射激光束相对应的半反射、半透射镜，另设置有三块能够反射出射激光束的全反射棱镜，在三个全反射棱镜的任意一个外侧加装有衍射辅助光阑；与半反射、半透射镜a反射的激光束水平位置设有全反射镜，与全反射棱镜反射和全反射镜反射的激光束垂直相交处设有半反射、半透射镜b；半反射、半透射镜b反射的激光束对应设有光功率计，半反射、半透射镜b透射的激光束对应设有CCD探测器。本系统对四棱镜谐振腔光路的共面度进行高精度检测，能够实现测试结果准确、有效、直观的要求。

主权项

一种棱镜式环形激光器光路共面度检测系统，其特征在于：包括一固定在基座上的待检棱镜式环形谐振腔（3），沿待检棱镜式环形谐振腔（3）的一个角上设有一与外源稳频激光器（1）出射激光束（10）相对应的半反射、半透射镜a（2），在另三个角上设置有三块能够反射出射激光束（10）的全反射棱镜（4），在三个全反射棱镜（4）的任意一个外侧加装有衍射辅助光阑（5）；与半反射、半透射镜a（2）反射的激光束（10）水平位置设有一与其布置角度相同的全反射镜（6），与全反射棱镜（4）反射的激光束（10）和全反射镜（6）反射的激光束（10）垂直相交处设有一半反射、半透射镜b（7）；所述半反射、半透射镜b（7）反射的激光束（10）对应设有一光功率计（9），所述半反射、半透射镜b（7）透射的激光束（10）对应设有一CCD探测器（8）。