[发明专利]用于高纯锗烷气中微量杂质分析的氦离子化气相色谱仪无效
| 申请号： | 201310677677.4 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103675140A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 庄鸿涛;郁光;方华 | 申请（专利权）人： | 上海华爱色谱分析技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/20;G01N30/60 |
| 代理公司： | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 | 代理人： | 陈志良 |
| 地址： | 200233 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明为用于高纯锗烷气中微量杂质分析的氦离子化气相色谱仪，其特征在于：所述的氦离子化气相色谱仪包括色谱柱箱、控温系统、信号采集处理系统和尾气处理系统，所述的信号采集系统包括氦离子化检测器和色谱柱工作站，所述的温控系统实现各个色谱柱和检测器的独立控温，并且控制色谱柱温度按照时间程序升温，所述色谱柱工作站的结构包括三个切换阀、三个色谱柱、四个针阀和三个载气气路，所述的三个切换阀为一个十通阀和两个六通阀，所述的氦离子化检测器与色谱柱工作站的线路连接。本发明针对高纯锗烷气中微量杂质进行分析，通过氦离子化检测器高灵敏度实现ppb级别杂质分析，实现一次进样操作即完成对锗烷杂质的全分析。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高纯 锗烷气中 微量 杂质 分析 离子化 色谱仪 | ||
【主权项】：
用于高纯锗烷气中微量杂质分析的氦离子化气相色谱仪，其特征在于：所述的氦离子化气相色谱仪包括色谱柱箱、控温系统、信号采集处理系统和尾气处理系统，所述的信号采集系统包括氦离子化检测器和色谱柱工作站，所述的温控系统实现各个色谱柱和检测器的独立控温，并且控制色谱柱温度按照时间程序升温，所述色谱柱工作站的结构包括三个切换阀、三个色谱柱、四个针阀和三个载气气路，所述的三个切换阀为一个十通阀和两个六通阀，所述的氦离子化检测器与色谱柱工作站的线路连接。
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