[发明专利]用于193nm波长的由两种材料构成的沃拉斯顿棱镜

摘要

一种用于193nm波长的由两种材料构成的沃拉斯顿棱镜，由光轴方向相互垂直的两块直角三棱镜制作，两块直角三棱镜的切割角相同，两块直角三棱镜通过斜边直接光学接触，特点在于第一块直角三棱镜选用石英晶体，第二块直角三棱镜选用氟化镁晶体，本发明与由一种材料构成的传统沃拉斯顿棱镜相比，有效地增大光束分离角，尤其在棱镜切割角大于50度时，光束分离角增大得更为显著，可以为光刻机偏振照明系统的设计提供相当大的便利，有利于整体结构尺寸的紧凑化。

主权项

一种用于193nm波长的由两种材料构成的沃拉斯顿棱镜，包括光轴方向相互垂直的第一块直角三棱镜和第二块直角三棱镜，所述两块直角三棱镜的切割角相同，所述两块直角三棱镜通过斜边直接光学接触，其特征在于，所述第一块直角三棱镜选用石英晶体，所述的第二块直角三棱镜选用氟化镁晶体。