[发明专利]一种ITO镀膜生产线及生产工艺在审
| 申请号： | 201310665255.5 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN103668082A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 郭卫军 | 申请（专利权）人： | 湖北优泰显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 432500 湖北省孝感*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及ITO镀膜技术领域，尤其涉及一种ITO镀膜生产线及生产工艺。ITO镀膜生产线包括玻璃基片输送线、基片夹具、夹具机械手和真空镀膜机，真空镀膜机设置于玻璃基片输送线的右端；基片夹具用于装夹玻璃基片，基基片夹具放置在玻璃基片输送线上进行输送，夹具机械手夹持基片夹具并将基片夹具放置于真空镀膜机内；真空镀膜机包括有从左至右依次设置的SiO2膜真空镀膜室、ITO膜真空镀膜室、穿透率检验室和阻抗特性检验室，真空镀膜机还设置有穿设所述SiO2膜真空镀膜室、ITO膜真空镀膜室、穿透率检验室和阻抗特性检验室的输送带，可大大提高ITO镀膜生产效率，使得产品穿透率和阻抗特性更理想。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 镀膜 生产线 生产工艺 | ||
【主权项】：
一种ITO镀膜生产线，其特征在于：它包括玻璃基片输送线、基片夹具、夹具机械手和真空镀膜机，真空镀膜机设置于玻璃基片输送线的右端；所述基片夹具用于装夹玻璃基片，所述基基片夹具放置在玻璃基片输送线上进行输送，夹具机械手夹持基片夹具并将基片夹具放置于真空镀膜机内；所述真空镀膜机包括有从左至右依次设置的SiO2膜真空镀膜室、ITO膜真空镀膜室、穿透率检验室和阻抗特性检验室，真空镀膜机还设置有穿设所述SiO2膜真空镀膜室、ITO膜真空镀膜室、穿透率检验室和阻抗特性检验室的输送带。
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