[发明专利]一种WAT测试头的布置方法无效
| 申请号： | 201310612727.0 | 申请日： | 2013-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN103645356A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 许一峰;莫保章 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种WAT测试头的布置方法，其中，包括：液压驱动装置，所述液压驱动装置包括四个液压驱动升降杆，在探针机台的上表面固定所述四个液压驱动升降杆，所述四个液压驱动升降杆分别固定连接在所述测试头底面的四个顶角处；还提供一控制装置，所述控制装置与所述液压驱动装置电气连接。在检修测试头的时候，使用测试头升降式的方案代替翻转式的方案，用来节省额外的占地空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 wat 测试 布置 方法 | ||
【主权项】：
一种WAT机台同时放置多张探针卡的方法，其特征在于，包括：步骤S1：提供多个圆形探针卡套依次安装在WAT机台的轮盘的圆周上；步骤S2：将所述多个探针卡依次通过探针卡传输装置放置到所述轮盘的所述多个圆形探针卡套中；步骤S3：提供转轴与轮盘的圆心处连接，以转动所述轮盘的方式更换所述探针卡。
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