[发明专利]一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法

摘要

本发明公开了一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法，属于光学测量技术领域。该光学测量方法搭建全穆勒矩阵椭偏仪的实验光路，对全穆勒矩阵椭偏仪进行局部回归校准，将待测样品置于样品台上，得到待测样品的实验傅里叶系数，根据待测样品的实验傅里叶系数，得到待测样品的信息。由于该全穆勒矩阵椭偏仪的校准方法不仅操作过程简单，而且充分利用了全穆勒矩阵椭偏仪同次测量数据，引入的误差相对较小，校准得到的参数更加准确，进而，对待测样品进行测量时，测量结果更加准确。因此，该光学测量方法的过程得到简化。

主权项

一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法，其特征在于，包括以下步骤： 搭建全穆勒矩阵椭偏仪的实验光路，所述全穆勒矩阵椭偏仪的实验光路包括光源、起偏器、第一相位补偿器、检偏器、第二相位补偿器、光谱仪、样品台； 对所述全穆勒矩阵椭偏仪进行局部回归校准； 将待测样品置于所述样品台上，利用所述全穆勒矩阵椭偏仪，得到所述待测样品的实验傅里叶系数； 根据所述待测样品的实验傅里叶系数，得到所述待测样品的信息； 其中，对所述全穆勒矩阵椭偏仪进行校准的方法包括以下步骤： 对所述第一和第二相位补偿器的转速进行设定； 对所述光谱仪测量光强数据的频率进行设定，使所述光谱仪每隔T/N时间测量一次光强数据，一共采集N组光强数据，其中，N≥25，T为测量周期； 采集所述光谱仪测量到的光强数据； 根据所述光谱仪数据采集模块采集到的光强数据，由所述N次光强数据形成的N个光强数据－实验傅里叶系数关系式，得到各实验傅里叶系数α′2n，β′2n； 根据所述各实验傅里叶系数、已经校准好的第一相位补偿器的初始偏振角Cs1、第二相位补偿器的初始偏振角Cs2，得到各理论傅里叶系数α2n，β2n； 以所述参考样品各向同性且均匀为依据，所述第一相位补偿器相位延迟量运算模块根据所述各理论傅里叶系数、已经校准好的起偏器的偏振角Ps、检偏器的偏振角As，得到第一相位补偿器的相位延迟量δ1； 以所述参考样品各向同性且均匀为依据，所述第二相位补偿器相位延迟量 运算模块根据所述各理论傅里叶系数、已经校准好的起偏器的偏振角Ps、检偏器的偏振角As，得到第二相位补偿器的相位延迟量δ2； 将已经校准得到的第一相位补偿器的初始偏振角Cs1、第二相位补偿器的初始偏振角Cs2、起偏器的偏振角Ps、检偏器的偏振角As、第一相位补偿器的相位延迟量δ1和第二相位补偿器的相位延迟量δ2作为准确值，通过所述理论傅里叶系数与工作参数之间的关系式，以（d，θ）为变量，运用最小二乘法拟合得到所述全穆勒矩阵椭偏仪剩余工作参数（d，θ）的准确值，其中，d为所述参考样品的厚度，θ为光入射到所述参考样品的角度。