[发明专利]一种流体压力传感器在审
| 申请号： | 201310611116.4 | 申请日： | 2013-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN103604556A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 王进朝;柳东强;郭玉刚;封玉军 | 申请（专利权）人： | 无锡市纳微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明为一种流体压力传感器，包含取样管和与取样管配合连接的壳体底座，在壳体底座中设置有集成芯片，集成芯片由MEMS压力传感器芯片和校准芯片集成，并且MEMS压力传感器芯片和校准芯片相连接，其中，MEMS压力传感器芯片用于感测液体的压力，并将压力信号转换成电信号进行输出，校准芯片用于对MEMS压力传感器芯片的输出进行补偿。本发明通过在流体压力传感器的壳体底座中设置MEMS压力传感器芯片和校准芯片集成的集成芯片，能够缩小流体压力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流体 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种流体压力传感器，包含取样管和与所述取样管配合连接的壳体底座，其特征在于，在所述壳体底座中设置有集成芯片，所述集成芯片由MEMS压力传感器芯片和校准芯片集成，并且所述MEMS压力传感器芯片和所述校准芯片相连接，其中，所述MEMS压力传感器芯片用于感测液体的压力并进行输出，所述校准芯片用于对所述MEMS压力传感器芯片的输出进行补偿。
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