[发明专利]可切换的射频功率源系统在审
| 申请号： | 201310596375.4 | 申请日： | 2010-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN103648230A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 尹志尧;陈金元;杜志游;欧阳亮;饭塚浩 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可切换的射频功率源系统，可以实现在多频率的射频功率之间进行切换。本系统使用射频信号发生器、射频信号放大器，并且包括一开关组件在具有两个频率的被放大的信号之间切换。 | ||
| 搜索关键词： | 切换 射频 功率 系统 | ||
【主权项】：
一种可切换的射频功率源系统，包括：振荡器，提供一频率信号;射频功率源组件，接收所述频率信号和以一第一频率或一第二频率输出一射频信号;一第一窄频带放大器，接收和放大所述以该第一频率输出的射频信号，以及一第二窄频带放大器，接收和放大所述以该第二频率输出的射频信号，从而提供一个被放大的具有所述第一频率或所述第二频率的射频信号;以及，切换机制，接收所述射频功率源组件的输出并且选择性地将所述具有第一频率的射频信号施加至所述第一窄频带放大器或将所述具有第二频率的射频信号施加至所述第二窄频带放大器。
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