[发明专利]一种抗氧化复合硬质涂层的制备方法

摘要

本发明公开了一种切削刀具表面抗氧化复合硬质涂层的制备方法，包括工件加热、工件等离子体清洗、过渡层制备、涂层制备、冷却步骤，以坩埚内的Ti铸锭作为TiN过渡层的Ti源，通过热阴极离子镀中的柱弧电源电流控制Ti铸锭的蒸发速度；以平面TiAlLa靶作为（TiAlLa）N涂层对应元素的来源，通过调节中频脉冲电源的功率控制靶材的溅射率；采用高纯Ar作为离化气体。采用N₂作为反应气体。该方法制备的（TAlLa）N涂层厚度约为2微米，纳米硬度40Gpa以上，抗氧化温度可以达到900℃以上，压痕实验等级为HF1(德国标准VDI3198)，与TiAlN涂层相比，具有更好的抗氧化性和机械性能，使用寿命更长。

主权项

一种抗氧化复合硬质涂层的制备方法，包括工件加热、工件等离子体清洗、过渡层制备、涂层制备、冷却步骤，其特征在于： 1）所述过渡层制备以坩埚内的Ti铸锭作为TiN过渡层的Ti源，通过热阴极离子镀中的柱弧电源电流控制Ti铸锭的蒸发速度； 2）所述涂层制备以平面TiAlLa靶作为（Ti，Al，La）N涂层对应元素的来源，通过调节中频脉冲电源的功率控制靶材的溅射率； 3）采用高纯Ar作为离化气体； 4）采用N₂作为反应气体，使其离化并与Ti、Al和La元素结合，在基体表面沉积形成（TiAlLa）N涂层。