[发明专利]沉积源在审
| 申请号： | 201310572117.2 | 申请日： | 2013-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN104278236A | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 张熙宣 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星;刘灿强 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种沉积源，根据本发明一个实施例的沉积源包括：主体部件，形成为能够使有机物向上侧排出；发热单元，形成于所述主体部件而用于对所述主体部件进行加热。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 | ||
【主权项】：
一种沉积源，包括：主体部件，形成为能够使有机物向上侧排出；发热单元，形成于所述主体部件而用于对所述主体部件进行加热。
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