[发明专利]光致变形薄膜反射镜的面形控制及测量装置

摘要

光致变形薄膜反射镜的面形控制及测量装置，属于空间光学技术领域，为解决现有光致变形薄膜反射镜的面形控制及测量装置系统复杂，面形控制系统可靠性低和面形控制精度差等问题，本发明激光器发射的激光通过第一激光准直镜得到准直的激光，再通过自由空间光隔离器和偏振态控制器完成偏振方向和偏振态的调整，得到单偏振态的准直激光，该激光通过分光棱镜进入液晶空间调制器进行小角度偏转，再通过偏振旋转器改变偏转方向，而后经过双折射棱镜扫描输出到光致变形薄膜的表面完成薄膜拉伸变形，激光经过光致变形薄膜散射回来后经过双折射棱镜、偏振旋转器、液晶调制器和分光棱镜后进入第二激光准直镜，激光经过第二激光准直镜会聚到达光电探测器。

主权项

光致变形薄膜反射镜的面形控制及测量装置，其特征是，薄膜支撑架（7）将光致变形薄膜（8）周边固定并保持平面状态，采用薄膜边界位移控制器（9）调节薄膜边界位移量，进而调节薄膜预张力，从而完成薄膜初始状态的保持；激光器（18）发射的激光通过第一激光准直镜（17）得到准直的激光，准直激光通过强度相位调制器（16）、自由空间光隔离器（15）和偏振态控制器（14）完成强度、相位、偏振方向和偏振态的调整，得到单偏振态的准直激光，该单偏振态的准直激光通过分光棱镜（13）进入液晶空间调制器（12）进行小角度偏转，再通过偏振旋转器（11）改变偏转方向，而后激光经过双折射棱镜（10）扫描输出到光致变形薄膜（8）的表面完成薄膜拉伸变形，从而完成薄膜面形控制过程；激光经过光致变形薄膜（8）散射回来后经过双折射棱镜（10）、偏振旋转器（11）、液晶调制器（12）和分光棱镜（13）后进入第二激光准直镜（19），激光经过第二激光准直镜（19）会聚到达光电探测器（20），完成单点激光测距，通过多点测量后可拟合出薄膜拉伸变形量，与理想面形作比较给面形控制系统提供面形修正量，从而完成薄膜面形的测量。